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微观结构分析

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微流控芯片的制作技术(二)
微流控芯片的制作技术(二)

2023-08-28

(2)热压法 热压法(hot embossing)是一种应用较广泛的快速复制电泳微通道的芯片制作技术,适用于PMMA与PC等热塑性聚合物材料。热压法的模具...

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点胶工艺如何不溢胶?
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2023-08-28

点胶工艺如何不溢胶? 要避免点胶过程中的胶水溢出,可以采取以下措施: 1. 控制点胶压力 调整点胶设备的压力,确保胶水以适当的压力流出。过高的压力...

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MEMS技术的加工工艺
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2023-08-25

(二)硅表面微机械加工技术 美国加州大学Berkeley分校的Sensor and Actuator小组首先完成了三层多晶硅表面微机械加工工艺,确立了硅表面微加工工艺...

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刻蚀偏差 (Etch Bias)
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2023-08-22

刻蚀偏差是指刻蚀以后线宽或关键尺寸间距的变化(见图1)。它通常是由于横向钻刻引起的(见图2),但也能由刻蚀剖面引起。当刻蚀中要去除掩模下过量的...

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